シンチレーターパネル用蒸着セル
サーモグラフィ用サーマルプレート
圧力容器振動加熱装置
真空加熱装置
CVDガス分解装置
蒸着用セル・・・Nセル
ガス透過評価装置
電気炉（上下分割加熱式）
大気圧成膜装置用ホットプレート
蒸発源（Ｎセル）
プロキシ加熱ホットプレート
max600℃薄型面状ヒータ