■会社名　※必須
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■ヒータの用途	自社部門の装置につける装置につけて販売する ヒータ単体として使う
■用途	1.スパッタ2.ＣＶＤ3.その他
	1.半導体2.液晶3.その他成膜4.エッチング 5.その他
	A.真空中B.大気中C.その他
	イ.研究用ロ.生産用ハ.その他
■ウエハ	種類（材質）形状・大きさ・厚さ
■ヒータ仕様	・大きさ
	・欲しいサイズ丸型角型
	・使用温度℃・均熱温度℃±℃
■使用状況	・真空度　到達torr　実使用時torr
	・雰囲気/AirNaArH2他
	・腐食ガスの有無/有　ガスの種類無
	・突き上げピン/有無　・回転有無
	・上下/有無　・ＲＦ/有無
■ヒータへの要望・課題	1.耐熱性2.均熱性3.寿命4.品質・安定性5.価格 6.耐食特性7.電気特性
■ご希望価格
■備考
お問い合わせありがとうございました。